Systèmes de distribution de gaz UHP dans les fabriques de semi-conducteurs : pourquoi le tube EP est importantPourquoi les systèmes de distribution de gaz UHP sont-ils si critiques ?
Dans la fabrication de semi-conducteurs—des procédés tels que la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), l'implantation ionique et la lithographie—les gaz de procédé doivent être d'une pureté ultra-élevée, généralement de 99,9999 % (6N) ou même de 99,99999 % (7N). Même une contamination à l'état de traces
Créé le 09.09