Sistemi di Distribuzione del Gas UHP nelle Fab di Semiconduttori: Perché la Tubazione EP è ImportantePerché i sistemi di distribuzione di gas UHP sono così critici?
Nella produzione di semiconduttori—processi come incisione, CVD, impiantazione ionica e litografia—i gas di processo devono essere di purezza ultra-elevata, tipicamente 99,9999% (6N) o addirittura 99,99999% (7N). Anche tracce di contamin
Creato il 09.09