Системы подачи газов сверхвысокой чистоты на полупроводниковых фабриках: почему важны трубопроводы EPПочему газораспределительные системы UHP так важны?
В производстве полупроводников — таких процессах, как травление, CVD, ионная имплантация и литография — технологические газы должны быть сверхвысокой чистоты, как правило, 99,9999% (6N) или даже 99,99999% (7N). Даже следовые загрязн
Создано 09.09