Systemy dostarczania gazów UHP w fabrykach półprzewodników: Dlaczego rury EP mają znaczenieDlaczego systemy dostarczania gazu UHP są tak krytyczne?
W produkcji półprzewodników — w procesach takich jak trawienie, CVD, implantacja jonów i litografia — gazy procesowe muszą charakteryzować się ultra wysoką czystością, zazwyczaj 99,9999% (6N), a nawet 99,99999% (7N). Nawet śladowe zanieczyszczenia
Utworzono 09.09