सेमीकंडक्टर फैब्स में UHP गैस डिलीवरी सिस्टम: EP ट्यूबिंग क्यों महत्वपूर्ण हैयूएचपी गैस वितरण प्रणालियाँ इतनी महत्वपूर्ण क्यों हैं?
अर्धचालक निर्माण में—जैसे एचिंग, सीवीडी, आयन इम्प्लांटेशन और लिथोग्राफी जैसी प्रक्रियाएँ—प्रक्रिया गैसें अति-उच्च शुद्धता वाली होनी चाहिए, आमतौर पर 99.9999% (6N) या यहाँ तक कि 99.99999% (7N)। यहाँ तक कि अल्प मात्रा में भी संदूष
बना गयी 09.09