Turkic
Oluşturuldu 09.09
Yarımkeçirici Fabriklərində UHP Qaz Çatdırılma Sistemləri: EP Borularının Əhəmiyyəti
Näme üçin UHP gaz eltip berme ulgamlary beýle möhüm?
Ýarymgeçiriji önümçiliginde—oýup işlemek, CVD, ion implantasiýa we litografiýa ýaly proseslerde—proses gazlary ultra ýokary arassaçylykda, adatça 99.9999% (6N) ýa-da hatda 99.99999% (7N) bolmalydyr. Hatda ppb (milliardda bölek) ýa-da ppt (trillionda bölek) derejesindäki yzly-yzyna hapalaýjylar—nem ýa-da kislorod ýaly—waferlerde geýt oksidi inçelmesi, metal boşluklary ýa-da gysga birikmeler ýaly ölümli defektlere sebäp bolup, tutuş toplumlary zyýanly edip biler.
Şeýlelik bilen, UHP gaz eltip berme ulgamynyň wezipesi gazlary çeşmeden proses guralyna arassaçylykda hiç hili peselme bolmazdan daşamak, her nokatda hapalanma we syzmagyň öňüni almakdyr.
Näme üçin EP turbalary UHP ulgamlarynyň oňurgasy bolýar?
EP (Elektrocilalanmış) borular, elektrokimyasal cilalama işleminden geçirilmiş paslanmaz çelikten üretilir ve ayna gibi bir iç yüzey oluşturur. Bu, onu UHP gaz dağıtımı için vazgeçilmez bir “arter” haline getirir.
Nihai Temizlik – Kaynağında Önleme
EP işlemi, iç yüzey pürüzlülüğünü (Ra) 0,13 µm – 0,25 µm veya daha da düşük seviyeye indirir. Bu ultra pürüzsüz yüzey, mikroskobik çatlakları ve adsorpsiyon noktalarını ortadan kaldırarak partiküller, metal iyonları veya nemin tutunmasına yer bırakmaz.
Geliştirilmiş Korozyon Direnci – Saflığın Korunması
Elektrocilalama adımı, yüzey kirliliklerini giderir ve krom oksit bakımından zengin bir pasif tabaka oluşturarak Cl₂, CF₄ ve HCl gibi aşındırıcı gazlara karşı direnci önemli ölçüde artırır. Bu, partikül oluşumuna veya gaz salınımıyla kirlenmeye yol açabilecek boru duvarı korozyonunu önler.
Geliştirilmiş Akış Verimliliği ve Daha Hızlı Temizleme
Hamar daxili divar axın müqavimətini azaldır və sistem təmizləməsi və qaz dəyişdirilməsini sürətləndirir. Sürətli qaz keçidi tələb edən proseslərdə bu, dövr müddətlərini qısaldır və fab ötürmə qabiliyyətini artırır.
Yüksək Material – "Tac" Standartı
Joqarı sapalı EP trubalar 316L VIM‑VAR (Vakuum Indukciya Eritiw + Vakuum Doǵa Qayta Eritiw) paslanbas polattan islep shıǵarıladı. Bul qos eritiw procesi tiykarǵı metallıń júdá joqarı tazalıǵın támiyinleydi, bul EPtiń eń joqarı ónimdarlıǵına erisiwdiń tiykarǵı aldınǵı shárti bolıp tabıladı.
Tiykarǵı Qollanıw Ssenariyleri
•
Tiykarǵı Procesler – Oydırıw, CVD, ion implantaciyası hám litografiya ushın joqarı tazalıqtaǵı reaktiv gazlardı jetkerip beriw.•
Arnawlı Gazlar – SiH₄, PH₃, Cl₂ hám BCl₃ sıyaqlı tez janatuǵın, zaharli yamasa korroziyalıq gazlardı qáwipsiz qollanıw. Óte qáwipli gazlar ushın kóbinese qos qabıqlı EP trubalar qollanıladı (ishki truba gaz ushın, sırtqı qabıq vakuumlanǵan yamasa azot penen tazalanǵan aǵıw monitoringi ushın).•
Áhmiyetli Úskeneler – Gaz tarqatıw panellerinde (VMBler), gaz shkaflarında hám process ásbap jalǵawlarında qollanıladı, bul jerde júdá taza ishki betler májbúriy bolıp tabıladı.
Trubadan Tıs: Tolıq UHP Sistemi ushın Basqa Zárúr Nárseler
Mutlak bütünlügi üpjün etmek üçin, ulgam hem goşmalydyr:
•
Tolıq Avtomatik Orbital Kebekläw – ISO 5-nçe Sınıf (100-nçe Sınıf) yäki annan da yaxşıraq cleanroom'larda başqarıla, qul kebekläw ayırmalıqların häm kontaminatsiä risklären beterä.•
Bütün Metal Üzlük Möhürlü Birləşmələr – VCR® və ya W‑Seal tipləri kimi, sıfır sızma performansı üçün metal contalara güvənənlər.•
Ciddi Təmizləmə və Qablaşdırma – EP boruları adətən yüksək təmizlikli su ilə təmizlənir, qurudulur və quraşdırılana qədər "göndərilmə vəziyyətindəki" təmizliyini qorumaq üçün təmiz otaq qablaşdırmasında ikiqat paketlənməzdən əvvəl azotla təmizlənir.
EP boru sadəcə bir boru deyil—yarımkeçirici qaz ötürülməsində ilk müdafiə xəttidir. Onun ultra hamar səthi, üstün korroziya müqaviməti və yüksək material təmizliyi birbaşa vafer məhsuldarlığına, cihaz etibarlılığına və ümumi fab gəlirliliyinə təsir edir. 5nm-dən aşağı node-lar və getdikcə sərtləşən qüsur büdcələri dünyasında EP boru seçim deyil—əsasdır.
Əlaqə
Məlumatınızı buraxın, biz sizinlə əlaqə saxlayacağıq.