ภาษาไทย
สร้างใน 09.09
ความชื้นและการปล่อยก๊าซจากอนุภาค: พื้นผิวสำเร็จส่งผลต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซอย่างไร
ในระบบก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในปัจจุบัน ความแตกต่างระหว่างกระบวนการที่ทำกำไรได้และความล้มเหลวที่ต้องเสียค่าใช้จ่ายสูงมักขึ้นอยู่กับสิ่งที่คุณมองไม่เห็น ความชื้นและอนุภาค — ซึ่งวัดกันในระดับส่วนในพันล้านส่วนหรือแม้แต่ส่วนในล้านล้านส่วน — สามารถปนเปื้อนกระแสก๊าซได้อย่างเงียบเชียบ ลดคุณภาพของผลิตภัณฑ์ และทำให้สายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์หยุดชะงัก ในขณะที่อุปกรณ์กรอง การทำให้บริสุทธิ์ และการควบคุมการไหลได้รับความสนใจมากที่สุด แต่หนึ่งในปัจจัยที่มีอิทธิพลพื้นฐานที่สุดต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซคือพื้นผิวของท่อที่นำพาก๊าซ การตกแต่งพื้นผิวนั้นเป็นตัวกำหนดว่ามันสามารถดูดซับความชื้นได้มากน้อยเพียงใด สามารถกักเก็บอนุภาคได้จำนวนเท่าใด และจะปล่อยก๊าซออกมามากเพียงใดตลอดอายุการใช้งานของระบบ คู่มือนี้จะอธิบายกลไกของการปล่อยความชื้นและอนุภาคออกมา วัดปริมาณผลกระทบของการตกแต่งพื้นผิวต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซ และสรุปกลยุทธ์การตกแต่งและการดำเนินงานที่ใช้เพื่อให้ได้ประสิทธิภาพระดับความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (UHP)
การไล่แก๊สคืออะไรและทำไมจึงสำคัญ?
การปล่อยก๊าซออก (Outgassing) คือการค่อยๆ ปล่อยก๊าซและความชื้นที่ถูกดูดซับหรือซึมซับไว้บนพื้นผิวของวัสดุหรือละลายอยู่ภายในชั้นใกล้พื้นผิว การปล่อยก๊าซนี้จะเกิดขึ้นเมื่อความดันโดยรอบลดลง อุณหภูมิสูงขึ้น หรือก๊าซไล่ (purge gas) พัดผ่านพื้นผิว ซึ่งเป็นสภาวะที่พบได้ในระบบจ่ายก๊าซ ห้องสุญญากาศ และเครื่องมือวิเคราะห์ ในระบบสแตนเลส ไอน้ำเป็นสิ่งปนเปื้อนจากการปล่อยก๊าซที่พบได้บ่อยที่สุด รองลงมาคือไฮโดรคาร์บอนและสารตกค้างจากกระบวนการ
แม้ในความเข้มข้นที่ดูเหมือนจะน้อยจนมองข้ามได้ ความชื้นก็สามารถทำปฏิกิริยากับก๊าซเฉพาะทาง ก่อตัวเป็นอนุภาคนิวเคลียส ทำให้ค่าที่อ่านได้จากการวิเคราะห์คลาดเคลื่อน และทำลายส่วนประกอบที่ไวต่อการรบกวน เช่น ตัวควบคุมอัตราการไหลเชิงมวล วาล์ว และห้องสะสมสารเคลือบ เมื่อขนาดเรขาคณิตของอุปกรณ์เล็กลงและหน้าต่างกระบวนการแคบลง อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ได้ผลักดันข้อกำหนดความบริสุทธิ์ของก๊าซจากส่วนในล้านส่วน (ppm) ไปสู่ส่วนในพันล้านส่วน (ppb) และส่วนในล้านล้านส่วน (ppt) ที่ระดับเหล่านี้ ความเรียบของผิวท่อไม่ใช่รายละเอียดเล็กน้อยอีกต่อไป — มันเป็นข้อกำหนดหลักที่ต้องได้รับการออกแบบ ตรวจสอบ และบำรุงรักษาตั้งแต่โรงงานจนถึงเครื่องมือ
กลไกหลัก
พื้นที่ผิวจริงที่เพิ่มขึ้น
พื้นผิวที่ขรุขระมีพื้นที่ในระดับจุลภาคมากกว่าพื้นผิวเรียบอย่างมาก และพื้นที่ที่มากขึ้นหมายถึงตำแหน่งที่ความชื้นสามารถเกาะติดได้มากขึ้น ความสัมพันธ์นี้ไม่ใช่แบบเส้นตรง ความขรุขระในรูปแบบของยอดเขา หุบเขา และขั้นบันไดระหว่างเกรนจะเพิ่มพื้นที่ผิวที่มีประสิทธิภาพสำหรับการดูดซับเป็นทวีคูณ การลดความขรุขระของพื้นผิว — ซึ่งวัดเป็น Ra คือค่าเบี่ยงเบนเฉลี่ยเลขคณิตของโปรไฟล์พื้นผิว — จาก 0.8 µm เหลือ 0.25 µm สามารถกำจัดตำแหน่งการดูดซับไปได้เป็นสัดส่วนที่มาก เนื่องจากร่องลึกที่สุดซึ่งกักเก็บน้ำไว้ได้อย่างดื้อรั้นที่สุดนั้นถูกกำจัดออกไปทั้งหมด นี่คือเหตุผลที่ความเรียบของพื้นผิวมักถูกอธิบายว่าเป็นแหล่งกักเก็บความชื้นที่ซ่อนเร้น ซึ่งเป็นตัวกำหนดว่าระบบจะต้องถูกไล่ก๊าซนานเท่าใดก่อนที่จะถึงระดับความบริสุทธิ์พื้นฐาน
การดูดซับความชื้นและการไล่แก๊ส
ความชื้นสร้างพันธะที่เสถียรกับพื้นผิวโลหะ โดยเฉพาะอย่างยิ่งกับชั้นออกไซด์ที่เกิดขึ้นเองตามธรรมชาติบนสแตนเลส บนพื้นผิวที่ผ่านการพาสซีเวตซึ่งอุดมด้วยโครเมียม โมเลกุลของน้ำจะดูดซับทางเคมีโดยตรงกับออกไซด์ก่อน จากนั้นจึงสะสมเป็นชั้นที่ดูดซับทางกายภาพต่อเนื่องกัน เมื่อท่อสัมผัสกับสุญญากาศหรือก๊าซที่ไหลผ่านในภายหลัง ชั้นเหล่านี้จะคายออกอย่างค่อยเป็นค่อยไป โดยชั้นนอกที่ยึดเกาะหลวมจะปล่อยออกก่อน ในขณะที่น้ำที่ดูดซับทางเคมีจะคงอยู่และต้องใช้พลังงาน ซึ่งมักอยู่ในรูปของความร้อน เพื่อให้ถูกปล่อยออกมา ผลที่ตามมาในทางปฏิบัติคือ ท่อที่ติดตั้งใหม่หรือมีผิวสำเร็จที่ไม่ดีจะปล่อยความชื้นเข้าสู่กระแสก๊าซเป็นเวลาหลายชั่วโมงหรือแม้กระทั่งหลายวัน ทำให้เวลาการไล่ก๊าซยาวนานขึ้นและรักษาระดับความบริสุทธิ์ให้ต่ำกว่าข้อกำหนด
การกักเก็บอนุภาค
รอยแตกขนาดเล็ก รูพรุน และรอยทับซ้อนบนพื้นผิวขรุขระทำหน้าที่เป็นแหล่งกักเก็บอนุภาค ในระหว่างการทำงานปกติ อนุภาคเหล่านี้อาจยังคงถูกกักอยู่ แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแบบวัฏจักร การสั่นสะเทือน หรือการเปลี่ยนแปลงทิศทางและความเร็วของการไหลอย่างกระทันหันสามารถทำให้อนุภาคหลุดออกมา ส่งการปนเปื้อนจำนวนมากเข้าสู่กระแสก๊าซ ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อนุภาคเพียงหนึ่งตัวสามารถสร้างข้อบกพร่องร้ายแรงบนเวเฟอร์ และอนุภาคที่ตกค้างในท่ออับหรือโพรงวาล์วเป็นสิ่งที่ขึ้นชื่อว่ายากมากที่จะกำจัดออกเมื่อระบบเริ่มใช้งาน พื้นผิวเรียบที่ไม่มีรอยแตกไม่เพียงแต่ลดจำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้นเท่านั้น แต่ยังทำให้พื้นผิวที่เหลืออยู่สะอาดและตรวจสอบได้ง่ายขึ้นมากอีกด้วย
ผลกระทบต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซ
การเลือกผิวสำเร็จมีผลกระทบโดยตรงและสามารถวัดได้ต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซ เวลาที่ใช้ในการไล่ก๊าซ และความเสถียรในระยะยาว ผิวหยาบในช่วง Ra 0.5–0.8 µm ซึ่งเป็นลักษณะทั่วไปของท่อที่ผ่านการดึงเย็นโดยไม่ผ่านการขัดแต่ง จะกักเก็บความชื้นและอนุภาคได้มากกว่า ผิวเหล่านี้ปล่อยก๊าซออกมามากกว่า ต้องใช้เวลาไล่ก๊าซนานกว่า และโดยทั่วไปเหมาะสำหรับการใช้งานระดับ ppm เท่านั้น ซึ่งการปนเปื้อนเป็นครั้งคราวเป็นสิ่งที่ยอมรับได้ ผิวเรียบในช่วง Ra ≤ 0.25 µm ซึ่งโดยทั่วไปผลิตโดยการขัดด้วยไฟฟ้า (EP) มีพฤติกรรมที่แตกต่างอย่างมาก ผิวเหล่านี้มีตำแหน่งดูดซับน้อยกว่า ปล่อยก๊าซออกมาน้อยกว่า และสร้างอนุภาคน้อยกว่ามาก ผลกระทบนี้ได้รับการวัดปริมาณในงานวิจัยที่ตีพิมพ์แล้ว การศึกษาหนึ่งเกี่ยวกับไทเทเนียมแสดงให้เห็นว่าการลดความหยาบผิวลง 35% ทำให้ปริมาณน้ำที่ปล่อยออกมาลดลง 30% และแนวโน้มที่เทียบเคียงได้ก็มีบันทึกไว้สำหรับสแตนเลส สำหรับระบบความบริสุทธิ์สูงพิเศษระดับ ppb และ ppt ผิวที่ขัดด้วยไฟฟ้าไม่ใช่สิ่งฟุ่มเฟือย แต่เป็นสิ่งจำเป็น
คุณภาพผิวสำเร็จส่งผลต่อประสิทธิภาพของระบบอย่างไร
ความเรียบของผิวมีอิทธิพลมากกว่าการปล่อยก๊าซออกมา มันส่งผลต่อเวลาในการไล่ก๊าซ (ผิวที่เรียบกว่าจะถึงระดับความชื้นพื้นฐานได้เร็วกว่า) การหลุดร่วงของอนุภาคภายใต้การไหล ความต้านทานการกัดกร่อน (ผิว EP ที่ผ่านการพาสซีเวตและมีโครเมียมสูงจะต้านทานการปนเปื้อนซ้ำ) และความสามารถในการทำความสะอาด (ผิวเรียบจะปล่อยสารทำความสะอาดและน้ำล้างออกได้อย่างสมบูรณ์) นอกจากนี้ยังส่งผลต่อความสามารถในการเชื่อม: ผิวที่สะอาดและควบคุมได้จะให้คุณภาพการเชื่อมแบบวงโคจรที่สม่ำเสมอมากขึ้น ลดความเสี่ยงของการเกิดสิ่งเจือปนและการเปลี่ยนสีจากความร้อนซึ่งอาจกลายเป็นแหล่งปนเปื้อนในอนาคต
คุณภาพผิวสำเร็จ | ค่า Ra ทั่วไป | การกักเก็บความชื้น | ความเสี่ยงจากอนุภาค | ระดับความบริสุทธิ์ทั่วไป | การใช้งานทั่วไป |
ดึงเย็น / ผิวสำเร็จจากโรงงาน | ≥ 0.8 µm | สูง | สูง | ppm | ท่ออุตสาหกรรมทั่วไป |
การกัดกรดและการพาสซีเวชัน (AP) | 0.4–0.8 µm | ปานกลาง | ปานกลาง | ppm | ท่อกระบวนการ, อาหารและเครื่องดื่ม |
อบอ่อนแบบเงา (BA) | 0.25–0.4 µm | ต่ำ | ต่ำ | ppb | กระบวนการความบริสุทธิ์สูง, เภสัชกรรม |
ขัดเงาด้วยไฟฟ้า (EP) | ≤ 0.25 µm | ต่ำมาก | ต่ำมาก | ppb–ppt | ก๊าซ UHP, เซมิคอนดักเตอร์ |
กลยุทธ์การบรรเทา
การบรรลุและรักษาความบริสุทธิ์ของก๊าซสูงจำเป็นต้องใช้วิธีการผสมผสาน โดยแต่ละวิธีจัดการกับเส้นทางการปนเปื้อนที่แตกต่างกัน
การปรับสภาพพื้นผิว
การขัดเงาด้วยไฟฟ้า (EP) เป็นมาตรฐานทองคำสำหรับระบบ UHP กระบวนการนี้จะกำจัดชั้นโลหะบางๆ ที่ควบคุมได้ออกจากพื้นผิว ทำให้ยอดไมโครเรียบเสมอกัน เปิดและกำจัดรอยแยก และเพิ่มปริมาณโครเมียมในฟิล์มพาสซีฟ ซึ่งทำให้พื้นผิวทนทานต่อการกัดกร่อนมากขึ้นและกักเก็บความชื้นได้น้อยลงมาก เมื่อกำหนดสเปกท่อส่งก๊าซ UHP ให้เลือกท่อไร้รอยต่อที่ขัดเงาด้วยไฟฟ้าสำหรับชิ้นส่วนที่สัมผัสก๊าซ และจับคู่อุปกรณ์เชื่อมต่อให้มีผิวสำเร็จเดียวกัน การผสมผิวสำเร็จภายในระบบเดียวจะบั่นทอนความสะอาดของชุดประกอบทั้งหมด สำหรับการใช้งานที่ต้องการน้อยกว่า การดองด้วยกรดและการพาสซีฟ (AP) และการอบอ่อนแบบสว่าง (BA) ให้ความสมดุลที่ดีระหว่างความสะอาดและต้นทุน
การทำความสะอาดและการจัดการ
การตกแต่งพื้นผิวเพียงอย่างเดียวไม่เพียงพอ — การทำความสะอาดอย่างเข้มงวดช่วยขจัดเศษวัสดุจากกระบวนการผลิต น้ำมัน และความชื้นที่หลงเหลือจากขั้นตอนการแปรรูปก่อนหน้า โดยทั่วไปแล้วขั้นตอนมาตรฐานจะประกอบด้วยการขจัดไขมันด้วยสารละลายด่าง การทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิก และการล้างด้วยน้ำปราศจากไอออน ตามด้วยการอบแห้งในสภาพแวดล้อมที่สะอาดและการบรรจุในถุงซ้อนสองชั้นที่ปิดผนึกอย่างแน่นหนา วินัยในการจัดการก็สำคัญไม่แพ้กัน: การสวมถุงมือ การใช้เครื่องมือที่สะอาด และการจัดเก็บในที่ปิดมิดชิดช่วยป้องกันการปนเปื้อนซ้ำระหว่างโรงงานผลิตและการติดตั้งขั้นสุดท้าย
การอบไล่ก๊าซ
การให้ความร้อนแก่ชิ้นส่วนภายใต้สุญญากาศหรือก๊าซไล่ที่ไหลผ่านจะช่วยเร่งการคายการดูดซับของไอระเหยน้ำ ขจัดความชื้นที่มิเช่นนั้นจะปล่อยก๊าซออกสู่กระแสกระบวนการระหว่างการใช้งาน การอบไล่ก๊าซมีความสำคัญเป็นพิเศษสำหรับวาล์ว ข้อต่อ และรอยเชื่อม ซึ่งรูปทรงเรขาคณิตและบริเวณที่ได้รับผลกระทบจากความร้อนสร้างแหล่งกักเก็บความชื้นที่ซ่อนอยู่ เมื่อใช้ร่วมกับการไล่ด้วยก๊าซเฉื่อย การอบไล่ก๊าซสามารถลดเวลาที่ระบบใหม่ต้องใช้ในการบรรลุความบริสุทธิ์พื้นฐานจากหลายวันเหลือเพียงไม่กี่ชั่วโมง
การไล่แก๊ส
การปล่อยให้ก๊าซเฉื่อย เช่น ไนโตรเจนหรืออาร์กอน ไหลผ่านระบบจะพาสารปนเปื้อนที่ถูกไล่แก๊สออกไปและป้องกันไม่ให้ความชื้นถูกดูดซับกลับคืน การไล่แก๊สเป็นทั้งขั้นตอนการทดสอบระบบและการปฏิบัติอย่างต่อเนื่อง ระบบที่ออกแบบมาอย่างดีจะรักษาการไล่แก๊สแบบไหลต่ำอย่างต่อเนื่องในส่วนที่สำรองไว้ และใช้ก๊าซไล่แก๊สที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อไม่ให้การไล่แก๊สเองกลายเป็นแหล่งปนเปื้อน
การเลือกวัสดุ
การใช้materialที่มีการปล่อยก๊าซต่ำช่วยลดแหล่งปนเปื้อนภายในก่อนที่มันจะเกิดขึ้น สำหรับงานบริการ UHP เหล็กกล้าไร้สนิม 316L ที่ผลิตโดยวิธี VIM-VAR (การหลอมด้วยการเหนี่ยวนำในสุญญากาศตามด้วยการหลอมซ้ำด้วยอาร์คในสุญญากาศ) เป็นมาตรฐานอุตสาหกรรม: การหลอมในสุญญากาศสองครั้งช่วยลดสิ่งเจือปนที่ไม่ใช่โลหะและสร้างโครงสร้างจุลภาคที่หนาแน่นและสม่ำเสมอ ซึ่งง่ายต่อการตกแต่งให้สะอาดและมีแนวโน้มที่จะปล่อยก๊าซน้อยลง วัสดุเกรดต่ำที่มีสิ่งเจือปนสามารถทำลายแม้แต่พื้นผิวที่ผ่านการตกแต่งที่ดีที่สุด เพราะสิ่งเจือปนทำหน้าที่เป็นจุดเริ่มต้นของการเกิดรูพรุนและการสร้างอนุภาค
การเลือกคุณภาพผิวสำเร็จที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานของคุณ
อุตสาหกรรมและกระบวนการที่แตกต่างกันมีความต้องการความบริสุทธิ์ที่แตกต่างกัน และการตกแต่งผิวที่เหมาะสมจะสร้างสมดุลระหว่างความสะอาดกับต้นทุนและความพร้อมใช้งาน สำหรับการใช้งานที่ความบริสุทธิ์ระดับ ppb เพียงพอ เช่น สายการผลิตกระบวนการที่มีความบริสุทธิ์สูงและระบบสาธารณูปโภคทางเภสัชกรรม ท่อไร้รอยต่ออบอ่อนสว่าง (BA) ให้ความสมดุลที่ดีเยี่ยมระหว่างคุณภาพพื้นผิว การควบคุมขนาด และต้นทุน สำหรับการใช้งานที่ต้องการมากที่สุด จะกำหนดวัสดุขัดผิวด้วยไฟฟ้าโดยไม่มีการประนีประนอม
- การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และจอแบน: ผิวสำเร็จ EP, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, บรรจุสองชั้นและรับรองแบบแบตช์ งบประมาณการปล่อยก๊าซและอนุภาคถูกกำหนดในระดับ ppb–ppt และบังคับใช้ด้วยข้อกำหนดด้านพื้นผิวและการนับอนุภาค
- ก๊าซพิเศษและก๊าซอิเล็กทรอนิกส์: ท่อ EP หรือ BA เกรดสูงที่มีผิวภายในควบคุม ตู้ก๊าซและแผงจ่ายก๊าซต้องการคุณภาพที่สม่ำเสมอจากทุกส่วนประกอบ
- เภสัชกรรมและเทคโนโลยีชีวภาพ: พื้นผิว EP หรือ BA ที่ทำความสะอาดและตรวจสอบได้ง่าย เป็นไปตามแนวทางความเรียบของพื้นผิว ASME BPE และรองรับรอบ CIP/SIP
- เครื่องมือวิเคราะห์และแก๊สโครมาโตกราฟี: ท่อเครื่องมือวัด
- กระบวนการทั่วไปและท่ออุตสาหกรรม: ผิวสำเร็จแบบ AP หรือ BA ให้ความสะอาดเพียงพอสำหรับการใช้งานระดับ ppm ในราคาที่ต่ำกว่า
มาตรฐานและข้อกำหนดอุตสาหกรรม
การระบุความเรียบผิวอย่างแม่นยำจำเป็นต้องมีภาษากลางที่ใช้ร่วมกัน Ra (ความหยาบเฉลี่ยทางคณิตศาสตร์) เป็นพารามิเตอร์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุด แต่การใช้งานที่สำคัญยังอ้างอิงถึง Rz, Rmax และจำนวนยอดคลื่น รวมถึงมาตรฐานการวัดความหยาบผิว เช่น SEMI F19 สำหรับท่อสแตนเลส เอกสารอ้างอิงที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ ASTM A269 และ A270 สำหรับท่อไร้รอยต่อและท่อสุขอนามัย ASME BPE สำหรับอุปกรณ์แปรรูปทางชีวภาพ และมาตรฐาน SEMI สำหรับการใช้งานด้านเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อข้อกำหนดต้องการคุณภาพระดับ EP ควรระบุค่า Ra วิธีการวัด และเกณฑ์การยอมรับ ตัวอย่างเช่น "Ra ≤ 0.25 µm วัดด้วยเครื่องวัดโปรฟิโลเมตรีแบบหัวสัมผัสบนพื้นผิวภายใน ตรวจสอบและรับรอง 100%"
คำถามที่พบบ่อย
ถาม: ค่า Ra เท่าใดจึงถือเป็นเกรด UHP?
ตอบ: ระบบความบริสุทธิ์สูงพิเศษมักกำหนดค่า Ra ≤ 0.25 µm และโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายแห่งต้องการ Ra ≤ 0.13 µm บนพื้นผิวที่ผ่านการขัดด้วยไฟฟ้า ข้อกำหนดที่แน่นอนขึ้นอยู่กับกระบวนการและระดับความบริสุทธิ์ที่ต้องการ
ถาม: การขัดด้วยไฟฟ้าขจัดอนุภาคหรือไม่?
ตอบ: การขัดเงาด้วยไฟฟ้าจะกำจัดชั้นโลหะที่ควบคุมได้ ซึ่งช่วยขจัดยอดแหลมขนาดเล็ก รอยพับ และร่องที่อนุภาคและความชื้นซ่อนอยู่ ไม่ได้แทนที่การทำความสะอาด: ชิ้นส่วนที่ขัดเงาด้วยไฟฟ้าอย่างถูกต้องยังคงต้องทำความสะอาด ล้าง และบรรจุภายใต้สภาวะห้องสะอาด
ถาม: ความเรียบของพื้นผิวส่งผลต่อเวลาล้างอย่างไร?
ตอบ: พื้นผิวที่หยาบกว่าจะกักเก็บความชื้นได้มากกว่าและปล่อยออกช้ากว่า ดังนั้นการไปถึงระดับความบริสุทธิ์พื้นฐานจึงใช้เวลานานขึ้น พื้นผิวที่ขัดเงาด้วยไฟฟ้าเรียบสามารถลดเวลาล้างได้หลายชั่วโมงหรือแม้กระทั่งหลายวัน ซึ่งหมายถึงการเริ่มเดินเครื่องที่เร็วขึ้นและเวลาหยุดทำงานน้อยลงโดยตรง
ถาม: ท่ออบอ่อนแบบเงา (BA) เพียงพอสำหรับระบบก๊าซหรือไม่?
A: ท่อ BA ที่มีค่า Ra ประมาณ 0.25–0.4 µm เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูงและงานด้านเภสัชกรรมหลายประเภท สำหรับงานเซมิคอนดักเตอร์และก๊าซพิเศษระดับ ppb–ppt โดยทั่วไปจำเป็นต้องผ่านกระบวนการขัดผิวด้วยไฟฟ้า (electropolishing)
Q: วัสดุใดดีที่สุดสำหรับระบบก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ?
A: เหล็กกล้าไร้สนิม 316L ที่ผลิตด้วยกระบวนการหลอม VIM-VAR เป็นตัวเลือกมาตรฐานสำหรับระบบก๊าซ UHP เนื่องจากมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำและมีโครงสร้างจุลภาคที่สะอาดและสม่ำเสมอ
บทสรุป
ความเรียบของผิวไม่ได้เป็นเพียงคุณลักษณะด้านความสวยงามของท่อสแตนเลส แต่เป็นข้อกำหนดเชิงหน้าที่ที่ควบคุมการดูดซับความชื้น การกักเก็บอนุภาค และการปล่อยก๊าซออกตลอดอายุการใช้งานของระบบก๊าซ ผิวที่เรียบกว่าถือเป็นสิ่งจำเป็นเบื้องต้นสำหรับการบรรลุและรักษาระดับความบริสุทธิ์ของก๊าซสูงสุด การกำหนดความเรียบของผิวที่เหมาะสม — การขัดด้วยไฟฟ้าสำหรับงาน UHP การอบอ่อนแบบสว่างหรือการดองและพาสซีเวตสำหรับงานที่ต้องการน้อยกว่า — การผสมผสานกับวัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำ เช่น สแตนเลส 316L VIM-VAR และการสนับสนุนด้วยการทำความสะอาด การอบไล่ก๊าซ และการไล่ก๊าซอย่างเข้มงวด วิศวกรสามารถสร้างระบบจ่ายก๊าซที่บรรลุเป้าหมายความบริสุทธิ์ที่ต้องการสูงสุดได้อย่างเชื่อถือได้ และรักษาระดับนั้นไว้ตลอดอายุการใช้งานของโรงงาน
ติดต่อ
กรอกข้อมูลของคุณแล้วเราจะติดต่อกลับ