Tamil
09.09 துருக
ஈரப்பதம் & துகள் வெளியேற்றம்: மேற்பரப்பு முடிவு வாயு தூய்மையை எவ்வாறு பாதிக்கிறது
இன்றைய உயர்-தூய்மை வாயு அமைப்புகளில், லாபகரமான செயல்முறைக்கும் விலை உயர்ந்த தோல்விக்கும் இடையிலான வேறுபாடு பெரும்பாலும் நீங்கள் பார்க்க முடியாத ஒன்றையே சார்ந்திருக்கிறது. ஈரப்பதம் மற்றும் துகள்கள் — பில்லியன் பங்குகள் அல்லது டிரில்லியன் பங்குகளில் அளவிடப்படுபவை — ஒரு வாயு ஓட்டத்தை அமைதியாக மாசுபடுத்தி, தயாரிப்பு தரத்தைக் குறைத்து, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளை மூடக்கூடும். வடிகட்டுதல், தூய்மைப்படுத்துதல் மற்றும் ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டு உபகரணங்களுக்கே பெரும்பாலான கவனம் கிடைத்தாலும், வாயு தூய்மையில் மிக அடிப்படையான தாக்கங்களில் ஒன்று வாயுவைக் கடத்தும் குழாயின் மேற்பரப்பாகும். அந்த மேற்பரப்பு எவ்வாறு முடிக்கப்படுகிறது என்பது அது எவ்வளவு ஈரப்பதத்தை உறிஞ்ச முடியும், எத்தனை துகள்களைப் பிடிக்க முடியும், மற்றும் அமைப்பின் ஆயுட்காலத்தில் எவ்வளவு வாயுவை வெளியேற்றும் என்பதைத் தீர்மானிக்கிறது. இந்த வழிகாட்டி ஈரப்பதம் மற்றும் துகள் வாயு வெளியேற்றத்தின் இயக்கவியலை விளக்குகிறது, வாயு தூய்மையில் மேற்பரப்பு முடிவின் தாக்கத்தை அளவிடுகிறது, மேலும் அதி-உயர் தூய்மை (UHP) செயல்திறனை வழங்கப் பயன்படுத்தப்படும் முடிவு மற்றும் இயக்க உத்திகளை விவரிக்கிறது.
வாயு வெளியேற்றம் என்றால் என்ன, அது ஏன் முக்கியம்?
வாயு வெளியேற்றம் என்பது ஒரு பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொண்ட அல்லது உள்வாங்கப்பட்ட அல்லது அதன் அருகிலுள்ள மேற்பரப்பு அடுக்குகளுக்குள் கரைந்துள்ள வாயுக்கள் மற்றும் ஈரப்பதம் படிப்படியாக வெளியிடப்படுவதாகும். சுற்றியுள்ள அழுத்தம் குறையும்போது, வெப்பநிலை உயரும்போது, அல்லது ஒரு சுத்திகரிப்பு வாயு மேற்பரப்பின் குறுக்கே பாயும்போது இந்த வெளியீடு தூண்டப்படுகிறது — இவை துல்லியமாக வாயு விநியோக அமைப்புகள், வெற்றிட அறைகள் மற்றும் பகுப்பாய்வுக் கருவிகளில் காணப்படும் நிலைகளாகும். துருப்பிடிக்காத எஃகு அமைப்புகளில், நீராவி மிகவும் பொதுவான வாயு வெளியேற்ற மாசுபடுத்தியாக உள்ளது, அதைத் தொடர்ந்து ஹைட்ரோகார்பன்கள் மற்றும் எஞ்சிய செயல்முறை எச்சங்கள் உள்ளன.
சிறிய அளவில் தோன்றும் செறிவுகளில் இருந்தாலும், ஈரப்பதம் சிறப்பு வாயுக்களுடன் வினைபுரிந்து, துகள்களை உருவாக்கி, பகுப்பாய்வு அளவீடுகளைத் தவறாக்கி, நிறை ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டாளர்கள், வால்வுகள் மற்றும் படிவு அறைகள் போன்ற உணர்திறன் கூறுகளைப் பாதிக்கலாம். சாதன வடிவியல் சுருங்கி, செயல்முறை சாளரங்கள் இறுக்கமடையும்போது, குறைக்கடத்தி தொழில்துறை வாயு தூய்மை தேவைகளை மில்லியனுக்குப் பகுதிகள் (ppm) என்பதிலிருந்து பில்லியனுக்குப் பகுதிகள் (ppb) மற்றும் டிரில்லியனுக்குப் பகுதிகள் (ppt) வரை உயர்த்தியுள்ளது. இந்த அளவுகளில், குழாயின் மேற்பரப்பு பூச்சு ஒரு சிறிய விவரம் அல்ல — இது ஆலை முதல் கருவி வரை வடிவமைக்கப்பட்டு, சரிபார்க்கப்பட்டு, பராமரிக்கப்பட வேண்டிய ஒரு முதன்மை விவரக்குறிப்பாகும்.
முக்கிய இயக்கவியல்
அதிகரித்த உண்மையான மேற்பரப்பு பரப்பளவு
ஒரு கரடுமுரடான மேற்பரப்பு மென்மையான ஒன்றை விட மிகப் பெரிய நுண்ணிய பரப்பளவைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக பரப்பளவு என்பது ஈரப்பதம் ஒட்டிக்கொள்ளக்கூடிய அதிக இடங்களைக் குறிக்கிறது. இந்த உறவு நேர்கோட்டு அல்ல: உச்சிகள், பள்ளங்கள் மற்றும் தானிய-எல்லை படிகள் வடிவில் உள்ள கரடுமுரடான தன்மை, உறிஞ்சுதலுக்குக் கிடைக்கும் பயனுள்ள மேற்பரப்பளவைப் பெருக்குகிறது. மேற்பரப்பு கரடுமுரடான தன்மையை — மேற்பரப்பு வரையறையின் எண்கணித சராசரி விலகலான Ra என அளவிடப்படுகிறது — 0.8 µm இலிருந்து 0.25 µm ஆகக் குறைப்பது, உறிஞ்சும் இடங்களில் பெரும் பங்கை அகற்ற முடியும், ஏனெனில் நீரை மிகப் பிடிவாதமாகத் தக்கவைக்கும் ஆழமான பிளவுகள் முழுவதுமாக நீக்கப்படுகின்றன. இதனால்தான் மேற்பரப்பு பூர்த்தி பெரும்பாலும் ஈரப்பதத்தின் மறைந்த நீர்த்தேக்கம் என்று விவரிக்கப்படுகிறது, இது ஒரு அமைப்பு அடிப்படை தூய்மையை அடையும் முன் எவ்வளவு காலம் சுத்திகரிக்கப்பட வேண்டும் என்பதை தீர்மானிக்கிறது.
ஈரப்பதம் உறிஞ்சுதல் மற்றும் வாயு வெளியேற்றம்
ஈரப்பதம் உலோக மேற்பரப்புகளுடன், குறிப்பாக துருவேறா எஃகில் இயற்கையாக உருவாகும் ஆக்சைடு அடுக்குகளுடன், நிலையான பிணைப்புகளை உருவாக்குகிறது. செயலூக்கமூட்டப்பட்ட, குரோமியம் நிறைந்த மேற்பரப்பில், நீர் மூலக்கூறுகள் முதலில் ஆக்சைடுடன் நேரடியாக வேதிப்பிணைப்பு கொள்கின்றன, பின்னர் தொடர்ச்சியான பிசிக்கல் உறிஞ்சல் அடுக்குகளாக குவிகின்றன. பின்னர் குழாய் வெற்றிடம் அல்லது பாயும் வாயுவுக்கு வெளிப்படுத்தப்படும்போது, இந்த அடுக்குகள் படிப்படியாக வெளியேறுகின்றன: தளர்வாக பிணைக்கப்பட்ட வெளிப்புற அடுக்குகள் முதலில் வெளியிடப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் வேதிப்பிணைப்பு நீர் நீடிக்கிறது மற்றும் வெளியிடப்பட ஆற்றல், பொதுவாக வெப்ப வடிவில், தேவைப்படுகிறது. நடைமுறை விளைவு என்னவென்றால், புதிதாக நிறுவப்பட்ட அல்லது மோசமாக முடிக்கப்பட்ட குழாய் பல மணிநேரங்கள் அல்லது நாட்கள் கூட வாயு ஓட்டத்தில் ஈரப்பதத்தை கசியவிடும், சுத்திகரிப்பு நேரத்தை நீட்டித்து தூய்மையை விவரக்குறிப்புக்குக் கீழே வைத்திருக்கும்.
துகள் சிக்கல்
நுண்ணிய விரிசல்கள், குழிகள் மற்றும் கரடுமுரடான மேற்பரப்புகளில் உள்ள அடுக்குகள் துகள்களுக்கு நீர்த்தேக்கங்களாக செயல்படுகின்றன. சாதாரண செயல்பாட்டின் போது இந்த துகள்கள் சிக்கியிருக்கலாம், ஆனால் வெப்ப சுழற்சி, அதிர்வு அல்லது ஓட்டத்தின் திசை மற்றும் வேகத்தில் திடீர் மாற்றங்கள் அவற்றை விடுவித்து, வாயு ஓட்டத்தில் மாசுபாட்டின் வெடிப்புகளை அனுப்பலாம். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், ஒரு துகள் ஒரு வேஃபரில் கொல்லும் குறையை உருவாக்க முடியும், மேலும் செத்த முனைகள் அல்லது வால்வு குழிகளில் தங்கும் துகள்கள் கணினி சேவையில் இருக்கும்போது அகற்றுவது மிகவும் கடினம். மென்மையான, விரிசல் இல்லாத மேற்பரப்புகள் உருவாக்கப்படும் துகள்களின் எண்ணிக்கையைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், எஞ்சியிருக்கும் மேற்பரப்புகளை சுத்தம் செய்வதையும் சரிபார்ப்பதையும் மிகவும் எளிதாக்குகின்றன.
வாயு தூய்மையின் மீதான தாக்கம்
மேற்பரப்பு முடிவின் தேர்வு வாயு தூய்மை, சுத்திகரிப்பு நேரம் மற்றும் நீண்டகால நிலைத்தன்மையில் நேரடியான, அளவிடக்கூடிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. Ra 0.5–0.8 µm வரம்பில் உள்ள கரடுமுரடான மேற்பரப்புகள் — சுத்திகரிக்கப்படாத குளிர்-இழுவைக் குழாயின் வழக்கமான தன்மை — அதிக ஈரப்பதத்தையும் துகள்களையும் தக்கவைத்துக்கொள்கின்றன. அவை மிகவும் தீவிரமாக வாயுவை வெளியேற்றுகின்றன, நீண்ட சுத்திகரிப்பு நேரம் தேவைப்படுகிறது, மேலும் அவை பொதுவாக ppm-அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானவை, அங்கு அவ்வப்போது மாசுபாடு ஏற்கத்தக்கது. Ra ≤ 0.25 µm வரம்பில் உள்ள மென்மையான மேற்பரப்புகள், பொதுவாக மின்வேதியியல் மெருகூட்டல் (EP) மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன, முற்றிலும் மாறுபட்ட முறையில் செயல்படுகின்றன: அவை குறைவான உறிஞ்சுதல் தளங்களை வழங்குகின்றன, குறைந்த வாயு வெளியேற்றம், மற்றும் மிகக் குறைவான துகள் உருவாக்கம். இந்த விளைவு வெளியிடப்பட்ட ஆய்வுகளில் அளவிடப்பட்டுள்ளது; டைட்டானியம் மீதான ஒரு ஆய்வு, மேற்பரப்பு கரடுமுரடான தன்மையில் 35% குறைப்பு, வெளியேற்றப்படும் நீரில் 30% குறைப்பை உருவாக்கியது என்பதைக் காட்டியது, மேலும் துருப்பிடிக்காத எஃகுக்கும் ஒப்பிடத்தக்க போக்குகள் ஆவணப்படுத்தப்பட்டுள்ளன. ppb- மற்றும் ppt-அளவிலான அதி-உயர் தூய்மை அமைப்புகளுக்கு, மின்வேதியியல் மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்புகள் ஒரு ஆடம்பரம் அல்ல — அவை ஒரு தேவை.
மேற்பரப்பு முடிவு அமைப்பு செயல்திறனை எவ்வாறு பாதிக்கிறது
மேற்பரப்பு முடிவு வாயு வெளியேற்றத்தை விட மிக அதிகமானவற்றை பாதிக்கிறது. இது சுத்திகரிப்பு நேரத்தை (மென்மையான மேற்பரப்புகள் அடிப்படை ஈரப்பதத்தை விரைவாக அடைகின்றன), ஓட்டத்தின் கீழ் துகள் உதிர்வு, அரிப்பு எதிர்ப்பு (செயலூக்கப்பட்ட, குரோமியம் நிறைந்த EP மேற்பரப்புகள் மறு மாசுபாட்டை எதிர்க்கின்றன), மற்றும் சுத்தம் செய்யக்கூடிய தன்மை (மென்மையான மேற்பரப்புகள் சுத்தம் செய்யும் பொருட்களையும் துவைப்பு நீரையும் முழுமையாக வெளியிடுகின்றன) ஆகியவற்றை பாதிக்கிறது. இது பற்றவைக்கும் தன்மையையும் பாதிக்கிறது: சுத்தமான, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு முடிவு மிகவும் சீரான சுற்றுப்பாதை பற்றவைப்பு தரத்தை உருவாக்குகிறது, இது உள்ளடக்கங்கள் மற்றும் எதிர்கால மாசுபாட்டு மூலங்களாக மாறக்கூடிய வெப்ப-நிறமாற்றம் ஆகியவற்றின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
மேற்பரப்பு முடிவு | வழக்கமான Ra | ஈரப்பதம் தக்கவைப்பு | துகள் ஆபத்து | வழக்கமான தூய்மை நிலை | பொதுவான பயன்பாடுகள் |
குளிர் இழுக்கப்பட்ட / ஆலை முடிவு | ≥ 0.8 µm | அதிகம் | அதிகம் | ppm | பொது தொழில்துறை குழாய் அமைப்பு |
அமிலத்தால் பொரிக்கப்பட்டு செயலிழக்கச் செய்யப்பட்ட (AP) | 0.4–0.8 µm | மிதமான | மிதமான | ppm | செயல்முறை குழாய், உணவு மற்றும் பானம் |
பிரைட் அனீல்டு (BA) | 0.25–0.4 µm | குறைவு | குறைவு | ppb | உயர் தூய்மை செயல்முறை, மருந்தியல் |
எலக்ட்ரோபாலிஷ்டு (EP) | ≤ 0.25 µm | மிகக் குறைவு | மிகக் குறைவு | ppb–ppt | UHP வாயு, குறைக்கடத்தி |
தணிப்பு உத்திகள்
உயர் வாயு தூய்மையை அடைவதற்கும் பராமரிப்பதற்கும் பல்வேறு அணுகுமுறைகளின் கலவை தேவைப்படுகிறது, ஒவ்வொன்றும் மாசுபாட்டின் வெவ்வேறு பாதையைக் கையாளுகிறது.
மேற்பரப்பு சிகிச்சை
UHP அமைப்புகளுக்கு எலக்ட்ரோபாலிஷிங் (EP) தங்கத் தரமாகும். இந்த செயல்முறை மேற்பரப்பில் இருந்து ஒரு மெல்லிய, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உலோக அடுக்கை அகற்றி, நுண் உச்சிகளை சமன் செய்து, பிளவுகளைத் திறந்து அகற்றி, செயலற்ற படலத்தின் குரோமியம் உள்ளடக்கத்தை வளப்படுத்துகிறது — இது மேற்பரப்பை அதிக அரிப்பு-எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதாகவும், ஈரப்பதத்தை மிகக் குறைவாகத் தக்கவைக்கும் தன்மையுடையதாகவும் ஆக்குகிறது. UHP வாயு வரிசையைக் குறிப்பிடும்போது, ஈரமான கூறுகளுக்குஎலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட மூட்டு இல்லாத குழாய்என்பதைத் தேர்ந்தெடுத்து, பொருத்துதல்களை அதே பூச்சுக்கு பொருத்தவும்; ஒரு அமைப்புக்குள் பூச்சுகளைக் கலப்பது முழு கூட்டமைப்பின் தூய்மையையும் குறைமதிப்பிற்கு உட்படுத்தும். குறைவான கோரிக்கைகள் கொண்ட பயன்பாடுகளுக்கு, அமில ஊறவைத்தல் மற்றும் செயலற்றதாக்குதல் (AP) மற்றும் பிரகாசமான அனீலிங் (BA) ஆகியவை தூய்மை மற்றும் செலவின் நல்ல சமநிலையை வழங்குகின்றன.
சுத்தம் செய்தல் மற்றும் கையாளுதல்
மேற்பரப்பு முடிவு மட்டும் போதாது — கடுமையான சுத்தம் செய்வது உற்பத்தி எச்சங்கள், எண்ணெய்கள் மற்றும் முந்தைய செயலாக்க படிகளில் இருந்து எஞ்சிய ஈரப்பதத்தை நீக்குகிறது. வழக்கமான நடைமுறைகள் கார சுத்திகரிப்பு, அல்ட்ராசோனிக் சுத்தம் மற்றும் டீஅயனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் கொண்டு கழுவுதல் ஆகியவற்றை இணைத்து, பின்னர் சுத்தமான சூழலில் உலர்த்தி, முத்திரையிடப்பட்ட இரட்டை பைகளில் பாதுகாப்பாக பொதி செய்வதை உள்ளடக்குகின்றன. கையாளுதல் ஒழுக்கம் அதே அளவு முக்கியம்: கையுறைகள், சுத்தமான கருவிகள் மற்றும் மூடப்பட்ட சேமிப்பு ஆகியவை ஆலைக்கும் இறுதி நிறுவலுக்கும் இடையே மீண்டும் மாசுபடுவதைத் தடுக்கின்றன.
பேக்-அவுட்
வெற்றிடம் அல்லது பாயும் சுத்திகரிப்பு வாயுவின் கீழ் கூறுகளை சூடாக்குவது நீராவியின் வெளியேற்றத்தை விரைவுபடுத்துகிறது, இயக்கத்தின் போது செயல்முறை ஓட்டத்தில் வெளியேறக்கூடிய ஈரப்பதத்தை நீக்குகிறது. வால்வுகள், பொருத்துதல்கள் மற்றும் பற்றவைக்கப்பட்ட மூட்டுகளுக்கு பேக்-அவுட் மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் வடிவியல் மற்றும் வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலங்கள் மறைந்த ஈரப்பதம் சேமிப்புகளை உருவாக்குகின்றன. ஒரு மந்தமான சுத்திகரிப்புடன் இணைந்து, பேக்-அவுட் ஒரு புதிய அமைப்பு அடிப்படை தூய்மையை அடைய தேவையான நேரத்தை நாட்களிலிருந்து மணிநேரங்களாகக் குறைக்க முடியும்.
சுத்திகரிப்பு
ஒரு மந்த வாயுவை, பொதுவாக நைட்ரஜன் அல்லது ஆர்கான், கணினி வழியாக செலுத்துவது வெளியேறும் மாசுகளை அகற்றி, ஈரப்பதம் மீண்டும் உறிஞ்சப்படுவதைத் தடுக்கிறது. சுத்திகரிப்பு என்பது ஒரு இயக்குவிப்பு படி மட்டுமல்ல, தொடர்ச்சியான நடைமுறையும் ஆகும்: நன்கு வடிவமைக்கப்பட்ட அமைப்புகள் காத்திருப்புப் பகுதிகளில் தொடர்ச்சியான குறைந்த-ஓட்ட சுத்திகரிப்பை பராமரிக்கின்றன மற்றும் உயர்-தூய்மை சுத்திகரிப்பு வாயுவைப் பயன்படுத்துகின்றன, இதனால் சுத்திகரிப்பே ஒரு மாசு மூலமாக மாறாது.
பொருள் தேர்வு
குறைந்த வாயு வெளியேற்றும் பொருட்களைப் பயன்படுத்துவது, உள் மாசுபாட்டு மூலங்கள் தோன்றுவதற்கு முன்பே அவற்றைக் குறைக்கிறது. UHP சேவைக்கு, VIM-VAR (வெற்றிட தூண்டல் உருகல், அதைத் தொடர்ந்து வெற்றிட வில் மறுஉருகல்) மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் 316L துருப்பிடிக்காத எஃகு தொழில்துறை தரமாகும்: இரட்டை வெற்றிட உருகல் உலோகம் அல்லாத உட்சேர்க்கைகளைக் குறைத்து, சுத்தமாக முடிக்க எளிதானதும், வாயு வெளியேற்றத்திற்கு குறைவாக வாய்ப்புள்ளதுமான அடர்த்தியான, ஒரே மாதிரியான நுண்ணமைப்பை உருவாக்குகிறது. உட்சேர்க்கைகள் கொண்ட தாழ்தரப் பொருள், சிறந்த மேற்பரப்பு முடிவையும் கூட தோற்கடிக்கக்கூடும், ஏனெனில் உட்சேர்க்கைகள் குழி உருவாதல் மற்றும் துகள் உருவாக்கத்திற்கான தொடக்க தளங்களாக செயல்படுகின்றன.
உங்கள் பயன்பாட்டிற்கு சரியான மேற்பரப்பு முடிவைத் தேர்ந்தெடுத்தல்
வெவ்வேறு தொழில்கள் மற்றும் செயல்முறைகளுக்கு வெவ்வேறு தூய்மைத் தேவைகள் உள்ளன, மேலும் சரியான முடிவு சுத்தத்திற்கும் செலவு மற்றும் கிடைக்கும் தன்மைக்கும் இடையே சமநிலையை ஏற்படுத்துகிறது. ppb-அளவு தூய்மை போதுமானதாக இருக்கும் பயன்பாடுகளுக்கு — எடுத்துக்காட்டாக, உயர்-தூய்மை செயல்முறை வரிகள் மற்றும் மருந்தியல் பயன்பாடுகள் — ஒரு பிரைட் அனீல்டு (BA) சீம்லெஸ் குழாய் மேற்பரப்பு தரம், பரிமாணக் கட்டுப்பாடு மற்றும் செலவு ஆகியவற்றின் சிறந்த சமநிலையை வழங்குகிறது. மிகக் கடுமையான சேவைக்கு, எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட பொருள் எந்தவித சமரசமும் இல்லாமல் குறிப்பிடப்படுகிறது.
- குறைக்கடத்தி மற்றும் தட்டையான-பேனல் உற்பத்தி: EP முடிவு, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, இரட்டை-பேக் மற்றும் தொகுதி-சான்றளிக்கப்பட்டது. வாயு வெளியேற்றம் மற்றும் துகள் பட்ஜெட்டுகள் ppb–ppt இல் வரையறுக்கப்பட்டு மேற்பரப்பு மற்றும் துகள்-எண்ணிக்கை விவரக்குறிப்புகளுடன் அமல்படுத்தப்படுகின்றன.
- சிறப்பு மற்றும் மின்னணு வாயுக்கள்: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உள் முடிவுடன் EP அல்லது உயர்-தர BA குழாய்; வாயு அலமாரிகள் மற்றும் விநியோக பேனல்கள் ஒவ்வொரு கூறுகளிலிருந்தும் நிலையான தரத்தை கோருகின்றன.
- மருந்தியல் மற்றும் உயிரித் தொழில்நுட்பம்: சுத்தம் செய்யவும் சரிபார்க்கவும் எளிதான EP அல்லது BA மேற்பரப்புகள், ASME BPE மேற்பரப்பு-முடிவு வழிகாட்டுதல்களைப் பூர்த்தி செய்து CIP/SIP சுழற்சிகளை ஆதரிக்கின்றன.
- பகுப்பாய்வு கருவிகள் மற்றும் வாயு நிறமூர்த்தம்: கருவிக் குழாய்
- பொது செயல்முறை மற்றும் தொழில்துறை குழாய் அமைப்பு: AP அல்லது BA மேற்பரப்புகள் ppm-அளவு சேவைக்கு போதுமான சுத்தத்தை குறைந்த செலவில் வழங்குகின்றன.
தொழில்துறை தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள்
மேற்பரப்பு முடிவைத் துல்லியமாகக் குறிப்பிட ஒரு பொதுவான மொழி தேவைப்படுகிறது. Ra (எண்கணித சராசரி கரடுமுரடுமை) மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் அளவுருவாகும், ஆனால் முக்கியமான பயன்பாடுகள் Rz, Rmax மற்றும் உச்ச எண்ணிக்கை ஆகியவற்றையும், SEMI F19 போன்ற மேற்பரப்பு-கரடுமுரடுமை அளவீட்டுத் தரங்களையும் குறிப்பிடுகின்றன. துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களுக்கு, தையலற்ற மற்றும் சுகாதார குழாய்களுக்கான ASTM A269 மற்றும் A270, உயிரியல் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான ASME BPE, மற்றும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான SEMI தரங்கள் ஆகியவை பொதுவான குறிப்புகளில் அடங்கும். ஒரு விவரக்குறிப்பு EP தரத்தைக் கோரும்போது, அது Ra மதிப்பு, அளவீட்டு முறை மற்றும் ஏற்பு அளவுகோல்களைக் குறிப்பிட வேண்டும் — எடுத்துக்காட்டாக, "Ra ≤ 0.25 µm, உள் மேற்பரப்பில் ஸ்டைலஸ் ப்ரொஃபைலோமெட்ரி மூலம் அளவிடப்பட்டது, 100% ஆய்வு செய்யப்பட்டு சான்றளிக்கப்பட்டது."
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்
கே: எந்த Ra மதிப்பு UHP தரமாகக் கருதப்படுகிறது?
ப: அல்ட்ரா-ஹை பியூரிட்டி அமைப்புகள் பொதுவாக Ra ≤ 0.25 µm எனக் குறிப்பிடுகின்றன, மேலும் பல குறைக்கடத்தி ஆலைகள் மின்பொரிப்பு மேற்பரப்புகளில் Ra ≤ 0.13 µm தேவைப்படுகின்றன. சரியான தேவை செயல்முறை மற்றும் வழங்கப்படும் தூய்மை வகுப்பைப் பொறுத்தது.
கே: மின்பொரிப்பு துகள்களை அகற்றுகிறதா?
ப: எலக்ட்ரோபாலிஷிங் ஒரு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உலோக அடுக்கை நீக்குகிறது, இது துகள்கள் மற்றும் ஈரப்பதம் மறைந்திருக்கும் நுண்-உச்சிகள், மடிப்புகள் மற்றும் பிளவுகளை அகற்றுகிறது. இது சுத்தம் செய்வதை மாற்றாது: சரியாக எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட ஒரு பகுதி இன்னும் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, துவைக்கப்பட்டு, தூய அறை நிலைகளில் பொதி செய்யப்பட வேண்டும்.
கே: மேற்பரப்பு பூச்சு பர்ஜ் நேரத்தை எவ்வாறு பாதிக்கிறது?
ப: கரடுமுரடான மேற்பரப்புகள் அதிக ஈரப்பதத்தைத் தக்கவைத்து மெதுவாக வெளியிடுகின்றன, எனவே அடிப்படை தூய்மையை அடைய அதிக நேரம் எடுக்கும். மென்மையான எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட மேற்பரப்புகள் பர்ஜ் நேரத்தை மணிநேரங்கள் அல்லது நாட்கள் கூட குறைக்கலாம், இது நேரடியாக விரைவான தொடக்கங்கள் மற்றும் குறைந்த வேலையில்லா நேரத்திற்கு மொழிபெயர்க்கப்படுகிறது.
கே: வாயு அமைப்புகளுக்கு பிரைட் அனீல்டு (BA) குழாய் போதுமானதா?
A: சுமார் 0.25–0.4 µm Ra கொண்ட BA குழாய் பல உயர்-தூய்மை மற்றும் மருந்தியல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது. ppb–ppt குறைக்கடத்தி மற்றும் சிறப்பு-வாயு சேவைக்கு, பொதுவாக மின்வேதியியல் மெருகூட்டல் தேவைப்படுகிறது.
Q: மீயுயர் தூய்மை வாயு அமைப்புகளுக்கு எந்தப் பொருள் சிறந்தது?
A: VIM-VAR உருக்கு முறையில் உற்பத்தி செய்யப்பட்ட 316L துருவேறா எஃகு, அதன் குறைந்த உள்ளடக்க அளவு மற்றும் நிலையான, சுத்தமான நுண்கட்டமைப்பு காரணமாக UHP வாயு அமைப்புகளுக்கான நிலையான தேர்வாகும்.
முடிவுரை
துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களின் மேற்பரப்பு பூச்சு என்பது ஒரு அழகுப்பூச்சு பண்பு அல்ல — இது ஒரு வாயு அமைப்பின் முழு ஆயுட்காலத்திலும் ஈரப்பத உறிஞ்சுதல், துகள் தக்கவைப்பு மற்றும் வாயு வெளியேற்றத்தை நிர்வகிக்கும் ஒரு செயல்பாட்டு விவரக்குறிப்பு ஆகும். மிக உயர்ந்த அளவிலான வாயு தூய்மையை அடைவதற்கும் பராமரிப்பதற்கும் மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு ஒரு முன்நிபந்தனையாகும். சரியான பூச்சைக் குறிப்பிடுவதன் மூலம் — UHP சேவைக்கு மின்முலாம் பூசப்பட்டது, குறைவான கோரிக்கைகள் கொண்ட பயன்பாடுகளுக்கு பிரகாசமான அனீல் செய்யப்பட்ட அல்லது அமிலத்தில் ஊறவைத்து செயலிழக்கச் செய்யப்பட்டது — அதை 316L VIM-VAR துருப்பிடிக்காத எஃகு போன்ற குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் கொண்ட பொருளுடன் இணைத்து, கடுமையான சுத்தம், வெப்ப வெளியேற்றம் மற்றும் சுத்திகரிப்பு நடைமுறைகளால் ஆதரித்து, பொறியாளர்கள் மிகக் கடுமையான தூய்மை இலக்குகளை நம்பகமாக பூர்த்தி செய்யும் வாயு விநியோக அமைப்புகளை உருவாக்கி, ஆலை இயங்கும் காலம் முழுவதும் அவற்றை அந்த நிலையில் தக்கவைத்துக் கொள்ள முடியும்.
தொடர்பு
உங்கள் தகவலை விட்டுச் செல்லுங்கள், நாங்கள் உங்களைத் தொடர்பு கொள்வோம்.